1200度雙溫區噴霧熱解靜電收集PECVD系統
TL1200II-PWRJ是一款多功能的合成系統，針對于合成各種納米結構氧化物以及納米材料的復合包覆工藝，這款儀器主要有6個部分組成：納米微霧發生儀，射頻電源，供氣系統、真空系統、TL1200管式爐、高壓靜電收集裝置。此款系統是一款非常先進的合成系統，可廣泛應用于納米材料合成、電極材料材料包覆等
詳細技術參數
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型號 |
TL1200II-PWRJ |
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設備組成 |
1、納米微霧發生儀：配有一個2.4MHz超聲霧化儀，可將液體霧化成液體顆粒，然后導入到管式爐中。 2、液體流量控制裝置：注射泵或者蠕動泵 3、加熱部分（管式爐）：管式爐最高溫度可以達到1200℃。 4、射頻電源：信號頻率13.56MHz，功率500瓦 5、供氣系統：配有智能供氣系統，可任選氣體和量程 6、真空系統：可將腔體直徑抽到0.1Pa，具體視腔體大小而定 7、靜電收集裝置：收集罐容積1.2L,可有效地收集由流動氣體和自由沉降帶過來的納米顆粒 |
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納米微霧發生儀
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納米微霧發生儀，是一款精細霧化顆粒超聲波霧化裝置，最小霧化顆?？蛇_1微米以下。其采用超聲波霧化噴頭技術，可將前驅體溶液或懸浮液均勻霧化后噴入管式爐中進行高溫熱分解制備超細粉體， 特性 1、霧化顆粒更細，獲得的粉體顆粒更細，最小霧化液體顆粒直徑可達500納米。 2、多種噴頭可選，可調節霧化顆粒大小。 3、適合于鹽溶液及有機溶液，液體粘稠度<1.2cps。 4、高耐腐蝕性：可適應各種強酸強堿及有機溶劑 5、標準接口輸出噴霧，可與各種管式爐及干燥塔進行對接。 |
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高壓靜電收集裝置
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1、電壓30000V，電流1mA 2、收料桶進料為KF25快速接頭，出氣口為外徑8mm的寶塔接頭 3、收料桶預留一個KF25快速接頭，用于給收料桶抽真空 4、正極棒和負極桶之間通過PTFE板連接，實現絕緣 5、收集桶最大容積1.2L，有效容積300ml |
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蠕動泵（選配）
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流量范圍：0.0001～720ml/min 轉速范圍：0.1～150rpm 轉速分辨率：0.1rpm 轉速精度誤差：＜±0.2% 功率：＜30W 選配不同型號的泵頭，流量范圍也不同 |
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注射泵（選配）
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1、4.3寸高清液晶觸摸屏顯示及操作，可裝卡1支塑料注射器或玻璃進樣針，注射器容量范圍寬至10μL～60mL，流量范圍0.184nL/min～83.318mL/min； 2、行程控制精度誤差＜±0.35%，多種工作模式可選 3、強大的抗電磁干擾性能，可在高壓靜電電場下連續穩定運行；
4、RS485通訊，兼容Modbus協議，可與計算機、PLC、單片機等多種上位機組成自動化控制系統。
可選配不同型號的注射泵
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功率 |
5.4 KW |
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爐管尺寸 |
Dia 100(OD) X1800 mm |
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外形尺寸 （LXWXH） |
3100X700X1450mm |
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電源電壓 |
220V |
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相數 |
單相 |
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加熱元件 |
國產優質電阻絲（可選配瑞典Kanthal A1進口電阻絲） 點擊進入資料下載 |
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控制方式 |
采用宇電程序控溫儀表（標配） 1、30段程序控溫智能PID調節。 2、具有過溫保護 斷偶保護過溫或斷偶時電爐加熱電路自動切斷,，（當電爐溫度超過1200度或熱電偶燒斷時，主電路上的交流繼電器會自動斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護電爐）。 3、帶有485 通訊接口（選購軟件時標配） 4、具有斷電保護功能，即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。 5、儀表具有溫度自整定的功能
（更換進口儀表，需要另外付費，選購）
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爐膛材料 |
1、真空吸濾成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。 2、采用日本技術成型。 3、爐膛里電阻絲的間距和節距全部按日本成熟的熱工技術布置、經過熱工軟件模擬溫場 |
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控制精度 |
+/- 1 ℃ |
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觸發器 |
移相觸發 |
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電器 |
浙江正泰 |
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可控硅 |
106/16E 德國西門康 |
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最高溫度 |
溫區一: 1200 ℃ 溫區二: 1200 ℃ |
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額定溫度 |
溫區一: 1100 ℃ 溫區二: 1100 ℃ |
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升溫速率 |
≤30 ℃/ Min （可根據要求修改） |
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推薦升溫速率 |
≤15 ℃/ Min |
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熱電偶型號 |
K型 |
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加熱段長度 |
205+205mm |
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閥門和法蘭 |
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射頻電源
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功率輸出范圍： 0-500W 最大反射功率 ： 200W 工作頻率：射頻：13.56MHZ±0.005% 功率穩定度： +/-0.1% 諧波分量：≤-50dbc 射頻區域寬度：0-600mm 可調 匹配方式 ： 自動 冷卻方式：風冷 噪聲： <50dB 射頻接口： 50Ω N-type 輸入電源 ： 208-240V 50/60HZ |
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供氣系統
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量程和氣體： 5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意選擇以上量程和所通氣體的類型） 質量流量計耐壓：3MP 流量控制精度：±1.0%F.S 重復精度：±0.2% F.S 系統工作壓力范圍：0.1~0.5 MPa 路數：1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意選擇幾路） 接頭類型： 雙卡套不銹鋼接頭 工作溫度： 5-45℃ 壓力真空表表：-0.1~0.15MPa 0.01MPa/格 靜態混氣室： Dia50 X 400MM 接口： Dia6 / 1/4” |
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真空系統
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型號：VS-0.1 電源：220V 外形尺寸： 650X650X600mm 波紋管： KF25X1000mm 用該系統抽爐管真空度可達： 10 -1Pa 真空擋板閥： KF25 真空泵型號：RV-4 真空泵極限分壓強：5X10-2 Pa 真空泵進排氣接口：KF25 真空泵電機轉速：1440RPM 抽氣速率： 4L/S 電機功率：0.75KW 電阻真空計型號：ZDZ-52T 真空度測量范圍：0.1-10 5 Pa 電阻硅：ZJ-52T |
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四周表面溫度 |
≤45℃ |
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開蓋安全保護系統 |
爐體上帶有空氣開關和保險絲 ，當電流超過空開的額定電流時，空開會自動跳開，有效的保護 |
保修期
一年保修，終身技術支持
特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不在保修期內。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。
注意事項
1.爐管內氣壓不可高于0.02MPa
2.由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa
3.當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當
4.進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的氣流對熱爐管的沖擊
5.對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開排氣閥，以防意外發生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）
1、 電阻絲
原絲 電阻絲爐膛
(1)、表面溫度高可達1420℃
(2)、表面為不銹鋼色（非常亮、客戶識別時要注意）、不會生銹，使用時間再長都不會掉渣。
(3)、電阻均衡、溫場均衡性好
電阻絲 電阻均勻 、 發熱量均衡
溫場效果好
2、安裝有空氣開關和漏電保護器：
當電路過流或漏電時，空開會自動斷開。
3、可以與電腦連接
該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數據保存起來，隨時可以調出
4、爐膛
1、真空吸濾成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。
2、采用日本技術成型。
3、爐膛里電阻絲的間距和節距全部按日本成熟的熱工技術布置、經過熱工軟件模擬溫場
4、采用4周加熱，溫場更加均衡
5、可選UL認證電氣板 （全部通過UL認證的進口電器）
6、認證
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7、法蘭
鉸鏈式法蘭（選購） 可以接電阻真空計和KF25波紋管的法蘭（選購） 水冷法蘭（選購）
標準配件
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描敘 |
數量 |
圖片 |
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TL1200雙溫區管式爐 |
1 臺 |
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石英管100mm OD x 1800mm L |
1根 |
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不銹鋼法蘭 |
1 對 |
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不銹鋼爐鉤 |
1 個 |
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注射泵 |
1臺 |
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供氣系統 |
1臺 |
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| 真空系統 | 1臺 | |
| 射頻電源 | 1臺 | |
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高溫手套 |
1 雙 |
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納米微霧發生儀 |
1臺 |
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| Ｋ型熱電偶 | 2個 |  |
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COM轉USB接口（選配） |
1 套 |
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說明書 |
1 份 |
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軟件（選配） |
1份 |
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